集研发、广州公司PECVD 等微观加工设备研发制造，中微总部基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、华南板级封装等新兴泛半导体装备赛道  。及生整体规划总投资 30 亿元。产基并持续拓展智能玻璃、地期向着既定建成投产目标稳步推进。封顶测试、广州公司项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，中微总部位于广州增城经济技术开发区的华南中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，及生

近日，产基本次封顶的地期一期项目占地约 50 亩 ，投资约 10 亿元，封顶

广州公司装配功能于一体 。